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      主要技術指標
      鍍膜時間設置: 1~3352 sec/ step
      旋涂速度:0~ 1407 rpm
      旋涂加速度:0 ~ 87540 rpm/s (空載)   
      轉速穩定性:1 rpm
      轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
      鍍膜尺寸:φ10 ~ 747 mm                                1
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